MEMS
MEMS一般指微机电系统。微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技查看详情>术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。
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21世纪MEMS技术的超高速发展 汽车成为MEMS创新热土
文︱立厷图︱网络MEMS（Micro Electro Mechanical System）技术和集成电路不同，与国外相比没有两到三代的差距，基本上差不到一代，也就是半代左右，甚至有的方面还在领先。这是华东光电集成器件研究所研究员、副所长展明浩日前发表的观点
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解读MEMS麦克风技术与设计
作者：泛林集团何为MEMS麦克风？MEMS（微型机电系统）麦克风是提供高保真声感的微型器件，体积小，可紧密集成于电子产品中，如智能手机、智能扬声器以及耳机等电子消费品。现在，MEMS麦克风不仅能够记录普通的环境声音，还具备立体声、主动降噪、指向性（聚束）、语音识别等功能
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富迪科技推出MEMS麦克风传感器和芯片套片提供语音接口整合方案
语音整合解决方案的全球领先厂商 —— 富迪科技发表新一代微型高性能低噪声的 MEMS 麦克风传感器 TMS02 系列产品
智能硬件 2019-07-29 -
Microchip推出业内最小的多路输出MEMS时钟发生器， 为时序组件节省多达80%的电路板空间
随着消费者对紧凑型物联网（IoT）和便携式电子设备的需求加速，产品设计师需要找到降低应用大小同时延长电池寿命的解决方案。时序器件是这类产品运行的关键，但时钟源通常需要多个组件来满足消费类电子设备的频率要求，导致较高的电路板空间占用和功耗。
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MEMS传感器让自动驾驶车辆“防患于未然”
自动驾驶的实现离不开感知层、控制层和执行层的相互配合。由摄像头、雷达等传感器构成的感知层充当了自动驾驶汽车眼睛、耳朵的角色，帮助车辆完成紧急制动、车道监测以及障碍物警示等一系列的动作。
MEMS传感器 2018-10-31
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